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Vacuum Handling Systems
200mm부터 300mm 구경의 단독의 웨이퍼를 손상없이 안전하게 이동 할 수 있는 장치
The highest level of cleanliness and safety,
manual single wafer handling from 200mm to 300mm.
- 독자적인 흡입기술 도입 - 정전기 방지