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Sorters
최소의 설치면적과 1개의 반송 로보트로 최대의 Throughput (Wafer 처리량) 실현
Providing the highest throughput with a single robot in the smallest footprint.- 최소의 설치 면적으로 웨이퍼를 운송 할 수 있는 End-Effector 설계로 최상의 청청도 유지- A.C.T 기술을 통한 웨이퍼의 안정적 처리- 개별설치는 물론 FOUP STOCKER 내부에도 설치 가능- 25장 웨이퍼를 한 번에 운송 및 뒤집을 수 있는 독자적 설계장치