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Hybrid Load-Port & EFEM
구조적 변경 없이 자동전환 스위치로 300/200mm 웨이퍼 혼용 사용가능 장치
Handling 200mm open cassette at 300mm wafer Load-Port,
Auto-Switching without the mechanical changes.
- 동일 Fab에서 혼용 편의성 실현 - 웨이퍼 돌출 및 Pick-up문제를 방지할 수 있는 구조적 설계 실현