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Load-Ports
공정설비와의 통신 소통으로 자동적/안정적 웨이퍼를 운송하는 장치
Extremely smooth FOUP door open/close motion. - 독자적 Particle 방지 기술 채용 - Door 개폐 시, 진동최소화 설계 기술 채용 - FOUP/EFEM 간 독자적 봉인기술로 유독가스 유출 방지 - 가스용 Nozzle의 승강방식으로 효율적이고 안정적 N2퍼지장치 실현