제품소개

VACUUM HANDLING SYSTEMS

RECIF Technologies의 역사는 1982 년에 첫 번째 웨이퍼 핸들링 솔루션 인 Vacuum handling Systems를 시작으로 시작되었습니다. 이 역사적인 기술 숙련도를 바탕으로 Recif Technologies는 고객 및 현재 반도체 업계의 요구 사항에 맞춘 완벽한 단일 웨이퍼 수동 진공 처리 솔루션을 제공합니다.
The highest level of cleanliness and safety, manual single wafer handling from 200mm to 300mm
  • 특허받은 Vacuum Tip 디자인
  • 깨끗한 유기 물질의 사용
  • ESD 보호
제품상세

VACUUM TIPS - EI

  • 450mm wafers : EI90 (SD* or non SD*)
  • 300mm wafers : EI50 (SD*)
  • 200mm wafers : EI30 (SD* or non SD*)
  • 150mm wafers and below : EI14 (SD* or non SD*)

  • 웨이퍼와의 최소 접촉
  • 3웨이퍼 변형 방지
  • 웨이퍼 안전
  • ESD 보호를위한 선택적 높은 임피던스 범위 (SD *)

  • Manufactured from PEEK (Ca30 or dissipative as option)
  • Conductive with optional high impedance solutions (SD*)
  • Up to 315°C process compliant
  • Angled 10° & 30° option
  • SD* stands for Static Dissipative

VACUUM WAND - VSNOSD

  • Robust
  • Manufactured from PVDF + Carbon fibers
  • Normally open design (Operator activates the spring valve to cut the vacuum)
  • ESD safe (Conductive)
  • Screw fit vacuum tube connection

VACUUM TUBES - (C)TSSD

  • 2m length coiled tube manufactured from Polyurethane (Part# CTSSD)
  • 1.8m or 3.0m length straight tube manufactured from Silicone Rubber(Part# TSSD)
  • Conductive (ESD safe)
  • Internal stainless steel spring prevents vacuum cut-off & ESD events
  • Supplied with standard stainless steel ¼’’ connector (6.35mm)

STANDS - SPCH/V

  • Manufactured from PVDF
  • Automatic vacuum cut-off system
  • SPCH for table mount
  • SPCV for wall mount

QUICK-DISCONNECT - QDC

  • Manufactured from PVDF & carbon fibers
  • Conductive

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