제품소개

Vaccum Handling Systems

RECIF Technologies는 1982년 부터 Vacuum Handling Systems을 만들어 왔습니다.
이를 바탕으로 완벽한 단일 Wafer 수동 진공 처리 솔루션을 제공합니다.

  • 최고 수준의 청결 및 안전성
  • 100mm ~ 450mm 수동 Wafer 처리
  • 특허받은 Vacuum Tip 디자인
  • 깨끗한 유기 물질의 사용
  • ESD 보호
제품상세

VACUUM TIPS - EI

  • 450mm Wafer : EI90 (SD* or non SD*)
  • 300mm Wafer : EI50 (SD*)
  • 200mm Wafer : EI30 (SD* or non SD*)
  • 150mm 이하 Wafer : EI14 (SD* or non SD*)

  • Wafer와의 최소 접촉
  • Wafer 변형 방지
  • Wafer 안전성
  • 진정한 ESD 보호를위한 고임피던스 범위 옵션 (SD*)

SD* : Static Dissipative

VACUUM WAND - VSNOSD

  • PVDF* + 탄소섬유로 제작
  • Normal Open 디자인(오퍼레이터가 밸브를 조작하면 진공이 차단됨)
  • 전도성 (ESD 안전))
  • 스크류 핏 방식 진공 튜브 연결
PVDF* : polyvinylidene fluoride

VACUUM TUBES - (C)TSSD

  • 폴리우레탄(Part# CTSSD) 으로 제작된 2m 길이 코일 튜브
  • 실리콘 고무(Part# TSSD) 로 제작된 1.8m, 3.0m 길이의 직선 튜브
  • 전도성 (ESD 안전)
  • 내부 스테인리스 스프링으로 진동 차단과 ESD 문제 대응
  • 표준 스테인리스 ¼’’ 커넥터(6.35mm) 기본 제공

STANDS - SPCH/V

  • PVDF* 로 제작
  • 자동 진공 차단 시스템
  • 테이블 마운트용 SPCH
  • 벽걸이용 SPCV

QUICK-DISCONNECT - QDC

  • PVDF* 와 탄소섬유로 제작
  • 전도성 (ESD 안전)
PVDF* : polyvinylidene fluoride

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