제품소개

300mm Wafer Sorter

RECIF Technologies의 최신 COMPACT 분류기 인 G5 + 시리즈는 300mm 실리콘 웨이퍼 Sorting을위한 표준 솔루션입니다. 혁신적인 디자인은 현장에서 입증 된 모듈 및 실시간 필드 버스, 직접 구동 변속기 및 기타 여러 가지 기술적 진보와 같은 기술을 바탕으로 부드러운 혁신 기술을 제공합니다.

  • 단일 로봇으로 실현 된 최고의 처리량, 가장 작은 설치 공간 및 탁월한 청결성은 물론 매우 안전한 웨이퍼 취급을 제공
    (핸들링 로봇에 내장된 Aligner/OCR 기능으로 빠른 처리량 제공)
  • End Effector의 독점적인 ACT (Advanced Contact Technology)를 통해 탁월한 청결성과 높은 보안 성을 보장
  • IC 제조업체에게 10nm 노드 이상을위한 최상의 생산성 솔루션을 제공
구동영상
제품상세

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