제품소개

Load-Port

독자적 기술 적용으로 최적화된 FOUP Door 개폐 동작 구현
Extremely smooth FOUP door open/close motion / No Particle / No Noise

  • 혁신적 Particle 발생 방지 기술 적용
  • FOUP Door 개폐간 진동의 획기적 개선
  • FOUP - EFEM 의 완벽한 밀착
  • 최상의 N2 Purge 기능 (Option)
       : Nozzle up/down timing, 압력 제어 가능 (Patented technology)

< N2 Purge Option >
  • - N2 Purging On Carrier Base
  • - FOUP 내부 Particle 유입 방지용 Nozzle 전단 필터 적용
  • - Monitoring N2 Gas Flow by Flow Meter
  • - N2 Gas Flow control by MFC
  • - 현장에서 N2 Purge Upgrade 가능
 
제품상세

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