제품소개

Load-Port

Extremely smooth FOUP door open/close motion.
최적의 조건으로 FOUP Door 개폐 (No Particle & No Noise)
  • Particle 발생 방지를 위한 혁신적 기술 적용
  • FOUP Door 개폐 시의 진동을 획기적 개선
  • FOUP 과 EFEM 간의 완벽한 밀착
  • N2 Purge 기능의 최상 효과(옵션)
    : Purge용 승강식 노즐과 FOUP간의 최상의 Coupling 효과 (Patented technology)

< N2 Purge Option >
  • N2 Purging On Carrier Base
  • Nozzle 전단 필터로 깨끗한 N2 Gas 보장
  • Flow Meter로 N2 Gas Flow 모니터 가능
  • MFC를 통한 N2 Gas Flow 컨트롤
  • Field 에서 N2 Purge Upgrade 가능!
 
제품상세

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