제품소개

Hybrid Load-Port & EFEM

(Load-Port 변경없이 200mm Wafer 사용 가능!)
200mm Wafer is available by just setting Open Cassette Adapter on 300mm Wafer LP.
  • 300 / 200mm Wafer Mapping 가능
  • Wafer Protrusion(웨이퍼 돌출) 감지기능
  • Wafer 이동시 안전을 위한 Adapter Door Close 기능 탑재


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