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    N2 Pre-Purge

    전/현 공정간 Delivery Time에 따른
    Native Oxide, AMC 생성에 의한 막질 특성 변화 방지를 제공

    Load Port

    웨이퍼가 안전하고, 효율성, 청정성이 보장된 상태로 프로세스 장비로의 로딩과 언로딩을 할 수 있도록 지원

    Sorter

    단일 로봇으로 최고의 처리량과 컴팩트한 설치 공간 및 탁월한 청결성은 물론 매우 안전한 웨이퍼 취급을 제공

    Plazmark

    Plasma 강도에 변색하는 Indicator, Plazma 처리 효과를 객관적으로 가시화하여 신속/정확한 균일성을 평가

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